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SSX600系列光刻機(jī)
SSX600系列光刻機(jī)

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型號

SSX600系列光刻機(jī)

品牌

產(chǎn)地

上海

樣本

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上海微電子裝備(集團(tuán))股份有限公司

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SSX600系列步進(jìn)掃描投影光刻機(jī)采用四倍縮小倍率的投影物鏡、工藝自適應(yīng)調(diào)焦調(diào)平技術(shù),以及高速高精的自減振六自由度工件臺掩模臺技術(shù),可滿足IC前道制造90nm、110nm、280nm關(guān)鍵層和非關(guān)鍵層的光刻工藝需求,可用于8寸產(chǎn)線或12寸產(chǎn)線。

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