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W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)
W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)

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型號

W-150A/B-6K 微波等離子化學氣相沉積系統(tǒng)

品牌

鉑世光

產地

上海

樣本

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鉑世光(上海)技術有限公司

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系統(tǒng)特點:
·采用方位換向對稱方式微波耦合,來提高微波的均勻性
·穩(wěn)定沉積面積20cm2
·**功率達到6KW
·使用純凈的石英窗
·采用不銹鋼反應腔,能耐高溫
·高壓力控制,產生高密度單模式等離子體
·使用高精度氣體質量流量計,高可靠性穩(wěn)定的壓力控制系統(tǒng)
·穩(wěn)定的微波輸入




image.png



應用:
·寶石
·復合熱沉片
·精密加工刀具刀頭
·紅外光學窗口
·量子傳感器/NV色心量子器件
·功率電子器件
·高增益激光器
·高純電化學電極
·納米金剛石材料
·第四代半導體材料


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