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W-180A-10K微波等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)品牌
鉑世光產(chǎn)地
上海樣本
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·系統(tǒng)參數(shù)：
型號(hào) | W-180系列 |
供電電源 | AC380±10% 三相五線制 50Hz/60Hz |
系統(tǒng)總功率 | 14KW |
微波輸出功率 | 2－10KW |
微波工作頻率 | 2.45GHz |
反應(yīng)腔 | 不銹鋼諧振腔 |
整機(jī)真空氣密性 | ≤1.33×10-10 Pa·m3/s (≤1×10-9 Torr L/s） |
沉積臺(tái)類(lèi)型 | 水冷式沉積臺(tái) |
有效沉積面積 | **沉積面積Ф≥3英吋（76mm） |
工作壓力范圍 | 1－32Kpa （10Torr－220Torr） |
自動(dòng)壓力控制精度 | ±15 Pa (≈0.12 Torr) |
真空泵抽速 | 旋轉(zhuǎn)真空油泵（30m3/h） |
標(biāo)準(zhǔn)氣路 | 五路MFC氣路（可選配） |
微波泄漏功率密度 | ≤1mw/cm2 |
控制系統(tǒng) | PDS-MPCVD控制系統(tǒng) |
觀察窗 | ICF70 4個(gè)，ICF34 4個(gè) |
運(yùn)行工作環(huán)境 | 恒溫20℃-24℃ |
冷卻水流量 | ＜41 L/min流量可調(diào) |
系統(tǒng)重量 | 500±5KG |
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