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WG-1281全自動減薄機
WG-1281全自動減薄機

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型號

WG-1281全自動減薄機

品牌

宏華電子

產地

廣東

樣本

暫無
肇慶市宏華電子科技有限公司

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技術特點:

● 可加工碳化硅晶錠(**厚度 5000mm)、帶框架的異形片及非標準的4/6/8寸SiC晶片;磨輪直徑 Φ300mm,**減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時間< 5 分鐘;
● 單主軸單工位自動減薄機,在線測量方式(測量范圍0-1800μm)/ 離線測量方式(測量范圍 0-50000μm)可選;通過手動進行上片、卸片操作和油石手動清洗承片臺。

 

性能指標:

WG-1281全自動減薄機
磨削方式通過旋轉晶圓,實現縱向切入式磨削
結構方式2根主軸, 3個承片臺,1回轉工作臺
磨削尺寸
mmMax.?300(Φ8″-Φ12″)
磨輪直徑
mm專用砂輪
主軸主軸數量-2
主軸功率KW5.5
主軸轉速rpm1000-6000
Z軸行程mm120
Z軸分辨率μm0.1
承片臺裝片方式-真空吸附
承片臺類型-多孔陶瓷式(純8寸/純12寸)
轉速rpm0-300
數量3
減薄精度片內厚度偏差μm≤4
片間厚度偏差μm≤±4
表面粗糙度Raμm≤0.02(#3000 wheel,)
粗磨Ring環(huán)精度μm3±0.15
粗磨ring環(huán)精度μm3.5±0.15
設備外形尺寸WxD×Hmm1450×3800×1900
設備重量kg4700

 


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產品質量

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售后服務

10分

易用性

10分

性價比

10分
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宏華電子:高端裝備“智”造者,國產替代先鋒

高端裝備制造作為國家產業(yè)升級和科技創(chuàng)新的關鍵產業(yè),正在引領全球經濟的新一輪變革,它不僅代表著一個國家的工業(yè)實力,更是衡量其在全球產業(yè)鏈中位置的重要標志。 根據國家知識產權局辦公室印發(fā)的《戰(zhàn)略

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