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WG-1281全自動(dòng)減薄機(jī)
WG-1281全自動(dòng)減薄機(jī)

參考價(jià)格

面議

型號(hào)

WG-1281全自動(dòng)減薄機(jī)

品牌

宏華電子

產(chǎn)地

廣東

樣本

暫無
肇慶市宏華電子科技有限公司

會(huì)員

|

第2年

|

生產(chǎn)商

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技術(shù)特點(diǎn):

● 可加工碳化硅晶錠(**厚度 5000mm)、帶框架的異形片及非標(biāo)準(zhǔn)的4/6/8寸SiC晶片;磨輪直徑 Φ300mm,**減薄速率 0.9μm/s, 單片磨削時(shí)間< 5 分鐘;
● 單主軸單工位自動(dòng)減薄機(jī),在線測(cè)量方式(測(cè)量范圍0-1800μm)/ 離線測(cè)量方式(測(cè)量范圍 0-50000μm)可選;通過手動(dòng)進(jìn)行上片、卸片操作和油石手動(dòng)清洗承片臺(tái)。

 

性能指標(biāo):

WG-1281全自動(dòng)減薄機(jī)
磨削方式通過旋轉(zhuǎn)晶圓,實(shí)現(xiàn)縱向切入式磨削
結(jié)構(gòu)方式2根主軸, 3個(gè)承片臺(tái),1回轉(zhuǎn)工作臺(tái)
磨削尺寸
mmMax.?300(Φ8″-Φ12″)
磨輪直徑
mm專用砂輪
主軸主軸數(shù)量-2
主軸功率KW5.5
主軸轉(zhuǎn)速rpm1000-6000
Z軸行程mm120
Z軸分辨率μm0.1
承片臺(tái)裝片方式-真空吸附
承片臺(tái)類型-多孔陶瓷式(純8寸/純12寸)
轉(zhuǎn)速rpm0-300
數(shù)量3
減薄精度片內(nèi)厚度偏差μm≤4
片間厚度偏差μm≤±4
表面粗糙度Raμm≤0.02(#3000 wheel,)
粗磨Ring環(huán)精度μm3±0.15
粗磨ring環(huán)精度μm3.5±0.15
設(shè)備外形尺寸WxD×Hmm1450×3800×1900
設(shè)備重量kg4700

 


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

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10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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公司動(dòng)態(tài)
宏華電子:高端裝備“智”造者,國產(chǎn)替代先鋒

高端裝備制造作為國家產(chǎn)業(yè)升級(jí)和科技創(chuàng)新的關(guān)鍵產(chǎn)業(yè),正在引領(lǐng)全球經(jīng)濟(jì)的新一輪變革,它不僅代表著一個(gè)國家的工業(yè)實(shí)力,更是衡量其在全球產(chǎn)業(yè)鏈中位置的重要標(biāo)志。 根據(jù)國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局辦公室印發(fā)的《戰(zhàn)略

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