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EVG 850LT SOI晶圓鍵合系統(tǒng)品牌
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EVG 850LT是一款專門用于SOI晶圓的全自動鍵合系統(tǒng)，相比EVG850增加了低溫等離子體激活模塊，提高鍵合質(zhì)量。
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