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EVG 850SOI晶圓鍵合系統(tǒng)
EVG 850SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

參考價(jià)格

面議

型號

EVG 850SOI晶圓鍵合系統(tǒng)

品牌

亞科電子

產(chǎn)地

北京

樣本

暫無
亞科電子(香港)有限公司

會(huì)員

|

第2年

|

生產(chǎn)商

工商已核實(shí)

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核心參數(shù)
  • 功率(kw):

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產(chǎn)品簡介:

EVG 850是一款專門用于SOI晶圓的全自動(dòng)鍵合系統(tǒng),配備清洗、對準(zhǔn)、預(yù)鍵合、紅外檢測等模塊。

主要特點(diǎn)及參數(shù):

·**支持12英寸(300mm)SOI晶圓

·Cassette-to-Cassette或者Foup-to-Foup運(yùn)行

·**真空度:9*10-2mbar(可選配至9*10-3mbar)

·主要模塊:

對準(zhǔn)模塊(flat or notch)

清洗模塊

預(yù)鍵合模塊

鍵合模塊

紅外檢測模塊


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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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