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納米壓印和高分辨率光刻系統(tǒng)
納米壓印和高分辨率光刻系統(tǒng)

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亞銘(北京)科技有限公司

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NX-2600整片基板帶對(duì)準(zhǔn)可多層次納米壓印加高分辨率光刻系統(tǒng)經(jīng)過(guò)了大量的實(shí)時(shí)實(shí)地驗(yàn)證,質(zhì)量可靠,性能優(yōu)越穩(wěn)定。具備全部壓印模式:熱固化、紫外固化和壓印?;讵?dú)特**保護(hù)的Nanonex氣墊軟壓技術(shù)(ACP),不論模版或基板背面粗糙程度如何,或是模版或基板表面波浪和弧形結(jié)構(gòu),NX-2600均可對(duì)其校正補(bǔ)償從而獲得****的壓印均勻性, ACP消除了基板與模版之間側(cè)向偏移,有效地延長(zhǎng)了模版使用壽命。通過(guò)微小熱容設(shè)計(jì)可獲得快速的熱壓印周期,*終得到快速的工藝循環(huán)。

主要特點(diǎn):

所有形式的納米壓印

l熱塑化

l紫外固化

l熱壓與紫外壓印同時(shí)進(jìn)行

l熱固化 氣墊軟壓技術(shù)(ACP)

lNanonex**技術(shù)

l**的整片基板納米壓印均勻性

l高通量 低于10nm分辨率 亞1微米正面對(duì)準(zhǔn)精度 背面對(duì)準(zhǔn)可選項(xiàng) 快速工藝循環(huán)時(shí)間(小于60秒) 靈活性

l4″, 6″, or 8″壓印面積可選

l各種尺寸及不規(guī)則形狀模板與基板均可壓印

l方便用戶操作 基于超過(guò)12年、15代產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗(yàn)的自動(dòng)化壓印操作 Nanonex壓印系統(tǒng)經(jīng)過(guò)大量實(shí)時(shí)實(shí)地驗(yàn)證,質(zhì)量可靠,性能優(yōu)越穩(wěn)定 全自動(dòng)納米壓印

納米壓印系統(tǒng)參數(shù)

熱塑壓印模塊

l溫度范圍0250

l加熱速度>300/分鐘

l制冷速度>150/分鐘

l壓力范圍0 3.8 MPa550 psi

紫外固化模塊

l200W窄帶紫外光源

l365納米或395納米波長(zhǎng)可選

l全自動(dòng)化控制 對(duì)準(zhǔn)模塊

lX, Y, Z, Theta平臺(tái)

l分場(chǎng)光學(xué)和CCD相機(jī)

基板裝載

l標(biāo)配納米壓印系統(tǒng)可裝載4″基板

l6″8″基板可選

l各種尺寸及不規(guī)則形狀模板及基板均可壓印

l獨(dú)特**保護(hù)ACP技術(shù)可**限度保護(hù)基板和模板,特別對(duì)于象磷化銦(InP)等極易碎模板和基板給予**限度保護(hù)。

光刻

l標(biāo)配5”模板,標(biāo)配4”直徑基板

l其他尺寸可以提供

l500瓦紫外水銀燈光源

應(yīng)用領(lǐng)域:

納米電子和光電子、顯示器、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)介質(zhì)、先進(jìn)材料、生物科技、納米流道等

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

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