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濺射離子槍,等離子體發(fā)生源
濺射離子槍,等離子體發(fā)生源

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德國

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中昊清遠(yuǎn)(北京)科技有限公司

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濺射離子槍主要用途:

  • 濺射清洗/表面科學(xué)中樣品表面處理, MBE and HV 濺射過程

  • 離子輔助沉積

  • 離子束濺射鍍膜

  • 反應(yīng)離子刻蝕

    技術(shù)指標(biāo):

    離子能量25eV - 5keV
    總的離子束電流1mA (at 5kV with Argon)

    High Current Version: up to 4mA (at 5kV with Argon)

    電流密度120μA/cm2 at 100mm working distance
    離子束發(fā)散角Ion energy dependant (typically 15°)
    工作距離100 mm (typically)
    等離子體杯Alumina (superior than other dielectric materials due to highest yield of secondary electrons)
    氣體進(jìn)氣口徑CF-16 (1.33“OD)
    氣體流速1 - 5 sccm (1,5 sccm typical, gas dependant)
    工作真空度10-6mbar - 10-3mbar (1x10-5mbar typical in chamber with 300l/s pimp). Low 10-6 mbar range possible - beam current then 140μA max.
    激發(fā)模式微波放電等離子體 (無燈絲)
    安裝口徑CF-35 (2.75“OD)
    槍直徑34mm (真空端)
    泄露閥需要?dú)怏w質(zhì)量流量計
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