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一、設(shè)備概述

石英管清洗設(shè)備是專為半導(dǎo)體、光伏、光學等領(lǐng)域設(shè)計的高精度清潔設(shè)備，用于去除石英管表面的顆粒、金屬污染、氧化物及有機物殘留。其核心目標是通過化學腐蝕、物理沖洗和干燥工藝，恢復(fù)石英管的潔凈度和透光性，確保下游工藝（如擴散、氧化、光刻）的穩(wěn)定性。設(shè)備通常兼容多種尺寸的石英管（如直徑20mm-100mm，長度可達1.5米），并滿足Class 10級潔凈度要求。

二、核心技術(shù)與功能

清洗技術(shù)

酸腐蝕清洗：使用混酸（如HF/HNO?/HCl）或?qū)Ｓ檬⒏g液，通過旋轉(zhuǎn)浸泡或噴淋方式去除表面雜質(zhì)。

超聲波輔助清洗：高頻超聲波空化效應(yīng)分解微小顆粒和頑固污染物。

高壓噴淋沖洗：去除化學腐蝕后的殘留液和剝離的污染物。

干燥技術(shù)

熱風循環(huán)干燥：通過潔凈熱風快速蒸發(fā)水分，避免水漬殘留。

惰性氣體保護干燥（如N?或CDA）：防止二次污染，適用于高潔凈度場景。

真空干燥：低溫抽真空干燥，保護石英管材質(zhì)性能。

自動化控制

PLC程序控制：預(yù)設(shè)清洗時間、溫度、轉(zhuǎn)速等參數(shù)，支持多段工藝配方存儲。

觸摸屏操作界面：實時監(jiān)控清洗狀態(tài)，故障自動報警（如漏液、過載）。

數(shù)據(jù)追溯系統(tǒng)：記錄清洗參數(shù)（如酸液濃度、溫度曲線），符合ISO標準。

三、設(shè)備結(jié)構(gòu)與設(shè)計特點

槽體與材質(zhì)

耐腐蝕材料：清洗槽采用PFA、PTFE或聚四氟乙烯涂層，抗氫氟酸腐蝕。

雙層防漏設(shè)計：槽體底部配備防漏盤和傾斜式防漏層，泄漏時自動報警并引流至廢液回收系統(tǒng)。

核心組件

旋轉(zhuǎn)驅(qū)動系統(tǒng)：石英管在槽內(nèi)低速旋轉(zhuǎn)（如5-10rpm），確保均勻腐蝕和清洗。

氮氣鼓泡系統(tǒng)：槽底注入氮氣，減少泡沫產(chǎn)生并促進酸液滲透。

循環(huán)過濾系統(tǒng)：酸液和漂洗水通過過濾裝置循環(huán)使用，降低耗材成本。

安全與環(huán)保

廢氣處理模塊：集成酸堿中和塔或活性炭吸附裝置，處理揮發(fā)性氣體。

廢液回收系統(tǒng)：分類收集酸液、漂洗水，符合環(huán)保排放標準。

防護等級：電氣部件防爆設(shè)計，適應(yīng)腐蝕性環(huán)境。

四、工藝流程示例

上料：人工或機械臂將石英管放入清洗槽。

酸洗：注入混酸，啟動旋轉(zhuǎn)和氮氣鼓泡，腐蝕表面雜質(zhì)。

漂洗：排空酸液后注入去離子水，循環(huán)沖洗殘留化學品。

干燥：熱風或惰性氣體干燥，確保無水漬殘留。

下料：潔凈石英管輸出至潔凈存儲柜或直接進入下游工藝。

石英管清洗設(shè)備是精密制造中的關(guān)鍵工具，其高效腐蝕、精確控制和安全防護能力直接影響產(chǎn)品良率。未來，隨著半導(dǎo)體制程升級和環(huán)保要求提高，設(shè)備將向智能化、模塊化和綠色化方向發(fā)展，助力高端制造實現(xiàn)更高標準的潔凈度控制。