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環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀 PFS
環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀 PFS

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型號

FM-PS-PFS-V02

品牌

Fastmicro

產(chǎn)地

荷蘭

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復納科學儀器(上海)有限公司

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Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀 PFS

Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀,專為潔凈室顆粒沉積速率測量而研發(fā),支持秒級間隔的數(shù)據(jù)采集,精準測量 0.5 um 以上顆粒。結(jié)合直觀易用的軟件系統(tǒng),幫助客戶實現(xiàn)從單純空氣監(jiān)測向表面潔凈度監(jiān)測的跨越式升級,為工藝流程優(yōu)化和潔凈度持續(xù)改進提供科學依據(jù)。


產(chǎn)品特點:

  • 數(shù)據(jù)輸出及可視化:符合 ISO 14644-17 標準

  • 高通量檢測:可檢測低至 0.5 um 顆粒

  • 快速:10 秒完成 2 英寸面積檢測

  • 定量:適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗證與監(jiān)測

生產(chǎn)過程中的一致性測量


快速: 秒級連續(xù)監(jiān)測

定量: 適用于生產(chǎn)與研發(fā)環(huán)境的驗證與監(jiān)測 

易操作: 操作員簡單培訓即可使用

精準: 高分辨率測量(數(shù)量、時間線、位置、尺寸)

一致性: 可重復的客觀測量結(jié)果

高吞吐量: 現(xiàn)場實時分析


FM-PFS-產(chǎn)品.png

監(jiān)測顆粒沉積速率(DPRL)


Fastmicro 環(huán)境落塵顆粒實時監(jiān)控儀(PFS)采用緊湊的工 業(yè)設(shè)計,依據(jù) ISO 14644-9 和 ISO 14644-17 標準,監(jiān)測顆 粒沉積速率(DPRL)。該設(shè)備使工藝/質(zhì)量工程師能夠?qū)崟r 監(jiān)控潔凈室環(huán)境中關(guān)鍵區(qū)域的顆粒沉降情況。


在關(guān)鍵區(qū)域?qū)崿F(xiàn)持續(xù)監(jiān)測


區(qū)別于傳統(tǒng)的僅監(jiān)測空氣懸浮顆粒,該系統(tǒng)可以對關(guān)鍵表 面的顆粒污染控制和潔凈度驗證進行持續(xù)監(jiān)測。 亞微米級顆粒并非始終懸浮于空氣中,它們可能沉積于關(guān) 鍵表面,影響技術(shù)潔凈度與產(chǎn)品質(zhì)量。


該儀器采用 2 英寸晶圓采集環(huán)境中的落塵顆粒,并可每 隔 10 秒左右對晶圓表面的顆粒進行連續(xù)粒子沉降監(jiān)測。 其檢測粒徑尺寸為 ≥0.5(通過 NIST 認證),并準確量化 沉降速率。 軟件界面簡單直觀,可以一鍵生成報告。

Fastmicro PFS  是 唯 一 一 款 高 精 度 原 位 檢 測 顆 粒 的 儀 器,幫 助 工 程 師 應 對潔凈工藝控制挑戰(zhàn)。

結(jié)合 Phenom XL 掃描電鏡,可以 便捷高效的進一步對顆粒物進行成分表征和溯源分析。


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