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全自動(dòng)膠帶研磨清洗機(jī)
1）： 采用典型、普遍的濕法清洗方法，使硅片清洗的更徹底；
2）： 采用獨(dú)立工位伺服機(jī)械手、運(yùn)行過(guò)程可監(jiān)控；
3）： 采用先進(jìn)的酸液控溫技術(shù)、能有效控制工藝溫度；
4）： 全自動(dòng)控制，可選擇自動(dòng)配/補(bǔ)液，保證設(shè)備的安全穩(wěn)定性；
5）： 設(shè)備由PLC控制,各部分均可以獨(dú)立操作
6）： 采用國(guó)際知名電氣元件；
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