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SIC切割后清洗機(jī)
1）： 擁有多種規(guī)格型號(hào)，適用于不同尺寸SIC晶圓的清洗；
2）： 適用于4寸丶、6寸、8寸等多規(guī)格SIC襯底片的刻蝕清洗
3）： 全自動(dòng)控制，機(jī)械手傳遞片籃，采用工控機(jī)+觸摸屏控制方式，電器件均采用進(jìn)口品牌
4）： 自動(dòng)供/補(bǔ)液，配超聲波、溢流循環(huán)。在線加熱等功能
5）： 濕法上料，干法下料，配熱N2烘干槽
6）： 配酸堿隔斷門、FFU保證設(shè)備運(yùn)行環(huán)境
暫無數(shù)據(jù)！
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