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8寸去邊機
1）： 適用于多種規(guī)格硅片的邊緣刻蝕處理；
2）： 設備主要由尋參定中心機構，刻蝕清洗機構、上下料機構、通風系統、管路控制系統、電氣控制系統、機架等部分組成；
3）： 用真空吸盤吸附硅片的方式搬運硅片；
4）： 具有兩套硅片上料線，上料WTR將硅片搬運至Pre-Aligner中定心并尋參；
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