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8寸去邊機(jī)
1）： 適用于多種規(guī)格硅片的邊緣刻蝕處理；
2）： 設(shè)備主要由尋參定中心機(jī)構(gòu)，刻蝕清洗機(jī)構(gòu)、上下料機(jī)構(gòu)、通風(fēng)系統(tǒng)、管路控制系統(tǒng)、電氣控制系統(tǒng)、機(jī)架等部分組成；
3）： 用真空吸盤吸附硅片的方式搬運(yùn)硅片；
4）： 具有兩套硅片上料線，上料WTR將硅片搬運(yùn)至Pre-Aligner中定心并尋參；
暫無數(shù)據(jù)！
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