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高真空硬碳膜制備系統(tǒng)--FHL600
高真空硬碳膜制備系統(tǒng)--FHL600

參考價格

面議

型號

高真空硬碳膜制備系統(tǒng)--FHL600

品牌

沈陽科學儀器

產(chǎn)地

遼寧

樣本

暫無
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

高級會員

|

第1年

|

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真空室結(jié)構(gòu):

圓筒形上升蓋

 

真空室尺寸:

φ600×500mm

 

極限真空度:

≤6.0E-4Pa

 

沉積源:

 

樣品尺寸,溫度:

φ240mm,1片,水冷卻

 

占地面積(長x寬x高):

約3米×1.1米x2米

 

電控描述:

全自動

 

工藝:

提供標準鍍膜工藝

 

特色參數(shù) :

1路工作氣路,2路備用氣路


產(chǎn)品概述:
本系統(tǒng)為單室立式結(jié)構(gòu)的高真空鍍鍍膜設(shè)備,可用于開發(fā)單層膜-類金剛石膜等。系統(tǒng)主要由鍍膜室、靶電極、射頻電源、樣品轉(zhuǎn)臺、泵抽系統(tǒng)、真空測量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、加熱控溫系統(tǒng)、水冷卻系統(tǒng)等組成。

設(shè)備用途:
可用于開發(fā)類金剛石膜等
 

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