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高真空電子束蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--EB900
高真空電子束蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--EB900

參考價格

面議

型號

高真空電子束蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--EB900

品牌

沈陽科學儀器

產地

遼寧

樣本

暫無
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

高級會員

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產品概述:
系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室、主抽過渡管路、旋轉基片架、光加熱系統(tǒng)、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、安裝機臺等部分組成,體現(xiàn)立方整體外觀,適用于超凈間間壁隔離安裝,操作面板一端處在相對要求較高超凈環(huán)境,其余部分(含低溫泵抽系統(tǒng))處在相對要求較低超凈環(huán)境。

設備用途:
本系統(tǒng)配有一套電子槍及電源,可滿足在Al,Ni,Ag,Pt,Pd,Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質膜基片上均勻沉積多層膜的需要。

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