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高真空電子束蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)--EB900品牌
沈陽科學儀器產地
遼寧樣本
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產品概述：
系統(tǒng)主要由蒸發(fā)室、主抽過渡管路、旋轉基片架、光加熱系統(tǒng)、電子槍及電源、石英晶體振蕩膜厚監(jiān)控儀、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、安裝機臺等部分組成，體現(xiàn)立方整體外觀，適用于超凈間間壁隔離安裝，操作面板一端處在相對要求較高超凈環(huán)境，其余部分（含低溫泵抽系統(tǒng)）處在相對要求較低超凈環(huán)境。
設備用途：
本系統(tǒng)配有一套電子槍及電源，可滿足在Al，Ni，Ag，Pt，Pd，Mo,Cr和Ti等多種金屬和介質膜基片上均勻沉積多層膜的需要。
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