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高真空磁控濺射薄膜沉積系統--PVD400
高真空磁控濺射薄膜沉積系統--PVD400

參考價格

面議

型號

高真空磁控濺射薄膜沉積系統--PVD400

品牌

沈陽科學儀器

產地

遼寧

樣本

暫無
中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司

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真空室結構:

方形前開門

 

真空室尺寸:

φ400x400x400mm

 

極限真空度:

≤6.6E-5Pa

 

沉積源:

永磁靶3套,φ2英寸

 

樣品尺寸,溫度:

φ4英寸,1片,**800℃

 

占地面積(長x寬x高):

約1.8米×1.7米×2米

 

電控描述:

全自動

 

工藝:

片內膜厚均勻性:≤±3%

 


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