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創(chuàng)新型設(shè)計(jì)

**全面的清洗解決方案。Evactron CombiClean 清洗系統(tǒng)為透射樣品，樣品桿以及透射極靴等其他分析設(shè)備提供了桌面式清洗平臺(tái)，幫助客戶清洗樣品以及電鏡部件，去除其存在的碳污染問(wèn)題。同時(shí)也提供了外置等離子發(fā)生器用于電鏡腔體清洗方案。系統(tǒng)操作簡(jiǎn)單，檢測(cè)器可以智能控制多個(gè)等離子發(fā)生器單元，控制器自由切換可以通過(guò)不同發(fā)生器的工作模式。系統(tǒng)支持旋葉機(jī)械泵，從而防止油污染。提供干燥氮?dú)獗Ｗo(hù)環(huán)境，保證經(jīng)等離子清洗過(guò)后的樣品可以長(zhǎng)期保存，此時(shí)不影響其他等離子發(fā)生器的使用。

應(yīng)用

Evactron CombiClean 系統(tǒng)可以提供外置式等離子發(fā)生器，用于掃描電鏡、透射電鏡和雙束電鏡，同時(shí)也可以清洗透射樣品桿以及氣塞。結(jié)合使用Evactron TEM Wand透射電鏡等離子清洗桿，可以清洗透射電鏡樣品、部件以及真空腔內(nèi)部。

系統(tǒng)特性

系統(tǒng)通過(guò)內(nèi)部的處理器，由MicroPirani 軟件對(duì)于真空度以及功率進(jìn)行智能控制。處理器可以對(duì)等離子發(fā)生器進(jìn)行定時(shí)清洗控制以及氮?dú)獗Ｗo(hù)循環(huán)。系統(tǒng)保留操作日志。操作可以通過(guò)前置面板或者電腦完成。

可選TEM WAND原位透射極靴清潔樣品桿