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DMD無(wú)掩模直寫(xiě)光刻系統(tǒng)
DMD無(wú)掩模直寫(xiě)光刻系統(tǒng)

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法國(guó)Microlight 3D出品的SmartPrint UV基于創(chuàng)新DMD無(wú)掩模直寫(xiě)光刻工藝, 在保證穩(wěn)定可靠性下極大提到作業(yè)產(chǎn)率, 是傳統(tǒng)直寫(xiě)光刻效率的100倍以上, 大大減少了半導(dǎo)體器件試作的周期時(shí)間!此系統(tǒng)為桌面型緊湊型設(shè)計(jì), 在保證高性能同時(shí)節(jié)省空間且性價(jià)比極高, 精選的物鏡工作范圍可達(dá)3cm, 使系統(tǒng)可兼容除硅片外更多非標(biāo)襯底如不平的, 柔性的, 和厚的, 完全符合微納米加工及柔性器件制備的預(yù)期!

使用稱為DMD的顯示元件,通過(guò)與平臺(tái)完全同步的ON/OFF控制,在晶片上直接繪制圖案。因?yàn)椴恍枰囍普掌谀Kǖ臅r(shí)間和費(fèi)用,所以可以提高半導(dǎo)體及其他電子器件的試制效率.

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