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德國Nano analytik成立于2010年4月，技術(shù)源自德國伊爾梅瑙科技大學(xué)，是德國耶拿分析儀器股份有限公司分支企業(yè)，公司的核心競(jìng)爭力在于傳感器、微系統(tǒng)和控制技術(shù)，公司宗旨是讓納米分析技術(shù)快速簡易化，在保證科研嚴(yán)謹(jǐn)性的同時(shí)提高科研效率。
德國Nano analytik研發(fā)了一款基于新型掃描探針的超高分辨掃描探針光刻SPL系統(tǒng)。可在大氣環(huán)境下，高經(jīng)濟(jì)效益、快速直寫10納米以下結(jié)構(gòu)和制備納米級(jí)器件。該系統(tǒng)的閉環(huán)回路可實(shí)現(xiàn)使用同一掃描探針對(duì)納米結(jié)構(gòu)的成像、定位、檢測(cè)和操縱。
該高分辨場(chǎng)發(fā)射掃描探針光刻FE-SPL系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于納米級(jí)微電子器件制備，納米操控，多工藝套刻，納米流體控制，超材料研究，納米光電器件，表面等離子激元，高分辨掩膜板或納米壓印模板的制備工作。
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