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脈沖激光沉積系統(tǒng)(PLD)、激光分子束外延設(shè)備(L-MBE) 設(shè)備簡(jiǎn)介：

產(chǎn)地：美國(guó)NBM

PLD是將脈沖激光透過(guò)合成石英窗導(dǎo)入真空腔內(nèi)照射到成膜靶上，靶被照射后吸收高密度能量而形成的plume狀等離子體狀態(tài)，然后被堆積到設(shè)在對(duì)面的基板上而成膜。PLD方法可以獲得擁有熱力學(xué)理論上準(zhǔn)穩(wěn)定狀態(tài)的組成和構(gòu)造的人工合成新材料。

我司PLD特點(diǎn)：我們PLD系統(tǒng)擁有**的性能價(jià)比，具有以下優(yōu)異的性能:

• 主真空室腔體直徑18英寸，本底真空可達(dá)高真空：9X10E-9 Torr（要用Load-lock）。

• 主真空室抽氣系統(tǒng)前級(jí)泵采用無(wú)油干泵

• ★基片加熱溫度**可達(dá)1200℃。

• 基片臺(tái)可360度旋轉(zhuǎn)（轉(zhuǎn)速1-20rpm可調(diào)）。

• ★基片與靶之間方位采用靶在下方，基片在上方，均水平放置。基片與靶間距沿Z軸（即垂直地面方向）可調(diào)。

• 6個(gè)裝靶的坩堝（或靶盤(pán)），各坩堝之間要求相互隔離，不互相污染。

• ★激光器：Coherent 公司COMPexPro 201：Wavelength: 248 nm (KrF)；Pulse Energy：700mJ；Max. Rep. Rate ：10 Hz；Energy stability (one sigma) : 1%； Average Power: 5W；Pulse Duration: 25 ns；Beam Dimensions(V×H): 24×10 mm；Beam Divergence(V×H): 3×1 mrad.

• ★L(fēng)oad Lock System一套（裝樣-送樣系統(tǒng)一套），采用transferengineering公司（Transfer Engineering and Manufacturing， Inc）的，本底真空1×10^-5Pa，帶相應(yīng)的分子泵。同一Load Lock系統(tǒng)既可以傳遞靶又可以傳遞基片，可兩者間切換操作。

• 設(shè)備及光學(xué)臺(tái)可聯(lián)接在一起，始終保持腔體和激光束位置穩(wěn)定。支撐腿帶可調(diào)節(jié)的轉(zhuǎn)輪，方便在地面整體（包括腔體系統(tǒng)和激光器）同時(shí)移動(dòng)與固定。

具體配置: 一， 超高真空腔體

二， 分子泵

三， 激光掃描系統(tǒng)

四， 襯底加熱鉑金片，**可達(dá)1200度

五， 基板加熱構(gòu)造設(shè)計(jì)

六， 基板加熱電源

七， Rheed

八， Rheed軟件

九， 多靶位 ，標(biāo)準(zhǔn)配置6個(gè)1英寸靶

十， Load-Lock樣品傳輸腔體

技術(shù)參數(shù)：

1. 靶：數(shù)量6個(gè)，大小1-2英寸，被激光照射時(shí)可自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，靶的選擇可通過(guò)步進(jìn)電機(jī)控制。

2. 基板：采用適合于氧氣環(huán)境鉑金加熱片，大小2英寸，加熱溫度可達(dá)1200攝氏度，溫度差<3%，加熱時(shí)基板可旋轉(zhuǎn)，工作環(huán)境**壓力是300mtorr。

3. 基板加熱電源。

4. 超高真空成膜室腔體：不銹鋼sus304材質(zhì)，內(nèi)表面電解拋光，本底真空度<5e-7 pa。

5. 樣品傳輸室：不銹鋼sus304材質(zhì)，內(nèi)表面電解拋光，本底真空度<5e-5 pa。

6. 排氣系統(tǒng)：分子泵和干式機(jī)械泵，進(jìn)口知名品牌。

7. 閥門(mén)：采用超高真空擋板閥。

8. 真空檢測(cè)：真空計(jì)采用進(jìn)口產(chǎn)品

9. 氣路兩套：采用氣體流量計(jì)（MFC）。

10. 薄膜成長(zhǎng)監(jiān)控系統(tǒng)：采用掃描型Rheed（可差分抽氣）。

11. 監(jiān)控軟件系統(tǒng)：基板溫度的監(jiān)控和設(shè)定，基板和靶的旋轉(zhuǎn)，靶的更換。

12. 各種電流導(dǎo)入及測(cè)溫端子。

13. 其它各種構(gòu)造：各種超高真空位移臺(tái)，磁力傳輸桿，超高真空法蘭，超高真空密封墊圈，超高真空用波紋管等。

感謝河南師范大學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室， 清華大學(xué)先進(jìn)材料重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，北京大學(xué)微電子系華中科技大學(xué)材料學(xué)院 使用此研究級(jí)高性能的PLD系統(tǒng)， 望我們高性能價(jià)格比的PLD為廣大科研人員提供幫助??！