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儀器特點(diǎn)：
腔體材料：不銹鋼，鋁，或者Bell Jar；
分子泵：70，250，500 l/sec； 一級(jí)泵：機(jī)械泵或干泵；
13.5MHz， 300-600W射頻電源；1KW直流電源；
QCM在線厚度測(cè)量，厚度分辨率<0.1nm；
帶有觀察窗的門，方便樣品取放；
Labview軟件，PC控制；
多重密碼保護(hù)；
全安全互鎖設(shè)計(jì)；
選配功能：
向上，向下，側(cè)向?yàn)R射；
射頻，直流、脈沖直流濺射；
共濺射，反應(yīng)濺射；
組合濺射；
射頻、直流偏置(1000V)；
基底加熱：不高于700攝氏度；
厚度監(jiān)控；
基底射頻等離子清洗；
Load-Lock，以及自動(dòng)樣品取放；
不同型號(hào)選擇：
NSC系列，立式磁控濺射系統(tǒng)；
NSC系列，立式緊湊磁控濺射系統(tǒng)；
NSC系列，臺(tái)式磁控濺射系統(tǒng)；
雙腔體系統(tǒng)，NSR系列，磁控濺射+反應(yīng)離子刻蝕(RIE)；
雙腔體系統(tǒng)，NSP系列，磁控濺射+PECVD；
雙腔體系統(tǒng)，NST系列，磁控濺射+熱蒸發(fā)；
暫無數(shù)據(jù)！
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