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磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter)
磁控濺射鍍膜機(jī)(Sputter)

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上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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儀器特點(diǎn):

  • 腔體材料:不銹鋼,鋁,或者Bell Jar;

  • 分子泵:70,250,500 l/sec; 一級(jí)泵:機(jī)械泵或干泵;

  • 13.5MHz, 300-600W射頻電源;1KW直流電源;

  • QCM在線厚度測(cè)量,厚度分辨率<0.1nm;

  • 帶有觀察窗的門(mén),方便樣品取放;

  • Labview軟件,PC控制;

  • 多重密碼保護(hù);

  • 全安全互鎖設(shè)計(jì);

選配功能:

  • 向上,向下,側(cè)向?yàn)R射;

  • 射頻,直流、脈沖直流濺射;

  • 共濺射,反應(yīng)濺射;

  • 組合濺射;

  • 射頻、直流偏置(1000V);

  • 基底加熱:不高于700攝氏度;

  • 厚度監(jiān)控;

  • 基底射頻等離子清洗;

  • Load-Lock,以及自動(dòng)樣品取放;

不同型號(hào)選擇:

  • NSC系列,立式磁控濺射系統(tǒng);

  • NSC系列,立式緊湊磁控濺射系統(tǒng);

  • NSC系列,臺(tái)式磁控濺射系統(tǒng);

  • 雙腔體系統(tǒng),NSR系列,磁控濺射+反應(yīng)離子刻蝕(RIE);

  • 雙腔體系統(tǒng),NSP系列,磁控濺射+PECVD;

  • 雙腔體系統(tǒng),NST系列,磁控濺射+熱蒸發(fā);

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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