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熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator System)
熱蒸發(fā)鍍膜機(jī)(Thermal Evaporator System)

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型號(hào)

品牌

產(chǎn)地

美國

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暫無
上海載德半導(dǎo)體技術(shù)有限公司

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第2年

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產(chǎn)地:美國;

型號(hào):CAPOS

通過加熱蒸發(fā)某種物質(zhì)使其沉積在固體表面,稱為蒸發(fā)鍍膜,熱蒸發(fā)鍍膜技術(shù)是歷史*悠久的PVD鍍膜技術(shù)之一。蒸發(fā)鍍膜機(jī)一般主要用于蒸發(fā)Cd、Pb、Ag、Al、CuCr、Au、Ni等材料。以下為蒸發(fā)鍍膜設(shè)備的示意圖。

技術(shù)規(guī)格特點(diǎn):

- 基底尺寸:4英寸,6英寸,8英寸;

- 基底旋轉(zhuǎn):0~10rpm;

- 熱蒸發(fā)源:4英寸或6英寸熱蒸發(fā)舟,交流電源;

- 腔體:鋁合金或不銹鋼材料可供客戶選擇,不同尺寸的箱式腔室可選;

- 泵:機(jī)械泵,擴(kuò)散泵或者分子泵,供客戶選擇;

- Load Lock樣品傳輸腔室:手動(dòng)或自動(dòng)傳輸,高真空,支持多種樣品襯底;

- 工藝控制:PC/PLC機(jī)制的自動(dòng)控制,使用GUI進(jìn)行工藝控制、數(shù)據(jù)處理、遠(yuǎn)程支持;

- 原位監(jiān)控:石英晶振監(jiān)測(cè)(QCM),光學(xué)監(jiān)測(cè),殘余氣體分析,其他原位監(jiān)測(cè)技術(shù)或控制;

- 襯底固定:?jiǎn)我r底固定,多襯底固定,行星式襯底固定,客戶化襯底固定方式;

- 襯底夾具:加熱,冷卻,偏置,旋轉(zhuǎn)等;

創(chuàng)新點(diǎn)

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
評(píng)論內(nèi)容
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