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磷化銦多晶合成爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 手動 |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-6寸 |
4 | 適用工藝 | 多晶合成 |
5 | 工藝溫度范圍 | 800-1250℃ |
6 | 恒溫區(qū)長度 | 300-800mm |
7 | 控溫精度 | ±0.2℃/＞1280℃恒溫區(qū)內(nèi) |
8 | 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性 | ±0.2℃ |
9 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
暫無數(shù)據(jù)！
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