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磷化銦單晶生長爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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一、設(shè)備概述：
主要應(yīng)用于 3-6 英寸磷化銦、磷化鎵III-V 族化合物半導(dǎo)體晶體材料單晶生長工藝，自動(dòng)控制系統(tǒng)。
二、設(shè)備參數(shù)類型：
設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 手動(dòng) |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 4-6寸 |
4 | 適用工藝 | 單晶生長 |
5 | 工藝溫度范圍 | 800-1250℃ |
6 | 恒溫區(qū)長度 | 300-800mm |
7 | 控溫精度 | ±0.2℃/＞1280℃恒溫區(qū)內(nèi) |
8 | 單點(diǎn)溫度穩(wěn)定性 | ±0.2℃ |
9 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能 |
10 | 進(jìn)出料方式 | 手動(dòng) |
11 | 控溫模式 | Spike控溫 |
12 | 控溫點(diǎn)數(shù) | 4-6點(diǎn) |
13 | 真空機(jī)組： | 直連泵 |
14 | 系統(tǒng)極限真空度： | ＜10Pa |
25 | 抽速： | 抽至極限真空時(shí)間＜10Min。 |
16 | 高壓腔設(shè)計(jì)壓力 | 5MPa |
17 | 工作壓力范圍： | 10 mTorr~500mTorr可調(diào) |
18 | 控制系統(tǒng)結(jié)構(gòu) | 一體工控機(jī)+PLC |
19 | 報(bào)警保護(hù): | 具有超溫報(bào)警，超壓報(bào)警，斷偶報(bào)警，氣體互鎖，氣體緩啟動(dòng)等功能 |
暫無數(shù)據(jù)！
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