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立式真空擴(kuò)散爐品牌
育豪微電子產(chǎn)地
山東樣本
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設(shè)備性能指標(biāo) | ||
1 | 操作方式 | 立式 |
2 | 管路數(shù) | 1管 |
3 | 加工晶圓尺寸 | 6-12寸 |
4 | 適用工藝 | 擴(kuò)散（鎵擴(kuò)）、玻璃鈍化（GPP）、退火、合金 |
5 | 溫度校準(zhǔn)功能 | 具有自動(dòng)校準(zhǔn)溫區(qū)功能，具有預(yù)先寫入偏差值快速拉溫區(qū)功能（選配） |
暫無(wú)數(shù)據(jù)！
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