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產品簡介：
該款設備是一種用于測量硅片和太陽能電池片電阻和電阻率的系統(tǒng)。該系統(tǒng)是為便于個人計算機操作而設計的，具有多種數(shù)據分析、繪圖等功能.
產品特點：
- X，Y，Z軸全自動系統(tǒng)
- 自動范圍選擇
- 300/450 mm晶片和太陽能電池系統(tǒng)
-通過操作軟件完善遠程控制
- 數(shù)據分析(2D、3D地圖/數(shù)據地圖/趨勢圖等)
- ASTM， SEMI 測量模式
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