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奧林巴斯半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測(cè)顯微鏡AL120
奧林巴斯半導(dǎo)體晶圓搬送及檢測(cè)顯微鏡AL120

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日本

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奧林巴斯(北京)銷售服務(wù)有限公司

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對(duì)應(yīng)多種尺寸組合

我們推出了200 mm專用型、200 mm/150 mm兼用型和150 mm型(對(duì)應(yīng)小于150 mm的晶圓)的3種工具顯微鏡型號(hào)。除此以外,您還可以根據(jù)檢查模式,選用微觀檢查專用型號(hào)"L型"或微觀•宏觀檢查兼用型號(hào)"LMB型"。

晶圓尺寸•厚度對(duì)應(yīng)表

薄片檢查

對(duì)應(yīng)薄片制造廠家的需求,AL120-LMB-90工具顯微鏡搭載的新型搬送手臂的設(shè)計(jì)可以搬運(yùn)整盒25枚90 μm的極薄晶圓。


高度實(shí)用性


進(jìn)一步優(yōu)化的宏觀檢查

背面宏觀360゜旋轉(zhuǎn)

  • 宏觀檢查手臂可以360゜旋轉(zhuǎn),更為容易發(fā)現(xiàn)傷痕和微塵。

  • 利用360゜旋轉(zhuǎn)功能,完全可以目視檢查整個(gè)晶圓(包括邊緣)。此外,在表面宏觀檢查中,使用操縱桿可隨意將晶圓**傾斜30゜進(jìn)行觀察。


操作便捷

  • 為了滿足各種常規(guī)檢查的要求,AL120工具顯微鏡可以登記多達(dá)10個(gè)檢查程序。使用這一功能可以記錄特定的卡盒、晶圓和傳輸速度。快速菜單選擇按鈕則可以讓操作員立刻切換不同程序。

  • 晶圓搬送機(jī)的菜單設(shè)置和設(shè)置參數(shù)都會(huì)在新型的LCD顯示器上顯示。 使用RECALL按鈕可以顯示檢查時(shí)登記的有缺陷的對(duì)應(yīng)SLOT,便于操作者再次確認(rèn)。

  • AL120工具顯微鏡使用非接觸光學(xué)定位、查找和對(duì)齊缺口/平面,可以減少晶圓和設(shè)備之間的接觸,提高晶圓的清潔度。


高度可靠性


優(yōu)先考慮晶圓和操作者的安全

  • 為了能夠安全的安裝晶圓,采用了在裝置正面放置片盒的設(shè)計(jì)。

  • 在安全性和人機(jī)工學(xué)上通過(guò)了SEMI S2/S8檢測(cè),同時(shí),在環(huán)境保護(hù)方面遵守了RoHS指令。


堅(jiān)固、耐用的顯微鏡底座

AL120工具顯微鏡搭載奧林巴斯MX專業(yè)晶圓檢查顯微鏡系列,通過(guò)各種觀測(cè)方法,包括:明視場(chǎng)、暗視場(chǎng)、微分干涉(DIC)、近IR(近紅外線)和DUV(深紫外線),實(shí)現(xiàn)了**的圖像分辨率和清晰度。電動(dòng)物鏡轉(zhuǎn)換器和孔徑光闌相互鎖定,可以優(yōu)化各物鏡的照明和對(duì)比度。如果特別訂制,AL120工具顯微鏡還可以應(yīng)用到其他型號(hào)的顯微鏡上。


人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)的載物臺(tái)

  • 手動(dòng)快速釋放真空載物臺(tái)可以提高操作員的舒適度和工作效率,標(biāo)準(zhǔn)功能為XY軸控制和晶圓旋轉(zhuǎn)功能。

  • 可通過(guò)操縱桿或預(yù)編程的程序控制電動(dòng)載物臺(tái),進(jìn)一步將檢查過(guò)程自動(dòng)化。只需一鍵便可驅(qū)動(dòng)載物臺(tái)返回或離開load/unload位置及原點(diǎn)位置。

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價(jià)比

10分
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