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日本電子JSM-7610F掃描電鏡
日本電子JSM-7610F掃描電鏡

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安柏來科學(xué)儀器(上海)有限公司

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通過半浸沒物鏡進行高分辨率觀察和分析

半浸沒式(semi-in-lens)物鏡在低加速電壓下也能將電子束聚焦得很細;浸沒式(in-lens)肖特基場發(fā)射電子槍壽命長,能獲得穩(wěn)定的電流,這兩者的結(jié)合使高分辨率觀察和高空間分辨率分析能夠兼顧。

通過柔和光束,以能量極低的入射電子束觀察樣品的淺表面

通過給樣品加以偏壓并照射電子束,能夠利用分辨率高于一般模式的Gentle Beam模式 (柔和光束),以能量為數(shù)百電子伏的入射電子束對樣品的淺表面進行高分辨率觀察,這是迄今為止未能實現(xiàn)的。

高性能電子光學(xué)系統(tǒng)能進行快速、高精度的分析

電子光學(xué)系統(tǒng)采用了High Power Optics(高性能電子光學(xué)系統(tǒng))。不僅能進行高分辨率觀察還可以進行穩(wěn)定、快速、高精度的元素分析。

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