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小型大行程納米促動(dòng)器

小型大行程納米促動(dòng)器

應(yīng)用領(lǐng)域

• 工業(yè)級(jí)精度定位

• 半導(dǎo)體技術(shù)

• 半導(dǎo)體測(cè)試

• 晶圓檢測(cè)

• 平版印刷術(shù)

• 納米壓印

• 納米測(cè)量

• 強(qiáng)磁場(chǎng)和真空中運(yùn)動(dòng)

增量編碼器用于高精度位置測(cè)量

非接觸式光學(xué)編碼器以極高的精度直接在平臺(tái)上測(cè)量位置。非線性效應(yīng)、機(jī)械作用或彈性形變不會(huì)對(duì)測(cè)量造成影響。

小型大行程納米促動(dòng)器

采用PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)實(shí)現(xiàn)納米精度和大進(jìn)給力

數(shù)個(gè)壓電陶瓷促動(dòng)器在PiezoWalk步進(jìn)驅(qū)動(dòng)中執(zhí)行步進(jìn)運(yùn)動(dòng)，將動(dòng)輪向前推進(jìn)。促動(dòng)器控制允許以遠(yuǎn)低于一納米的分辨率進(jìn)行*小步進(jìn)和推進(jìn)運(yùn)動(dòng)。

適用于復(fù)雜真空應(yīng)用

PI的壓電電機(jī)原則上是真空兼容的，并且適合在強(qiáng)磁場(chǎng)中運(yùn)行。驅(qū)動(dòng)器的特殊版本適于此目的。壓電陶瓷步進(jìn)驅(qū)動(dòng)器還可用于有較強(qiáng)紫外線輻射的無(wú)塵室或環(huán)境中。