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六自由度高精度并聯(lián)運(yùn)動(dòng)

無(wú)軸間運(yùn)動(dòng)串?dāng)_和誤差累計(jì)

低運(yùn)動(dòng)慣量，高結(jié)構(gòu)剛度

可自由設(shè)定旋轉(zhuǎn)中心

特殊設(shè)計(jì)可承受1000公斤以上負(fù)載

從1軸到6軸運(yùn)動(dòng)

并聯(lián)運(yùn)動(dòng)和并聯(lián)測(cè)量技術(shù)

保持記錄的高**精度與重復(fù)精度

可選電容傳感器**可達(dá)0.02nm閉環(huán)分辨率

定制型號(hào)可選擇銦鋼、鈦等不同材料

從1軸到6軸的直線與旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)

直線電機(jī)/陶瓷電機(jī)/步進(jìn)/直流伺服

獨(dú)有的大行程納米定位技術(shù)

力矩電機(jī)+氣浮軸承超高精度轉(zhuǎn)臺(tái)

直線臺(tái)/升降臺(tái)/旋轉(zhuǎn)臺(tái)/搖擺臺(tái)/多軸臺(tái)

**壓電陶瓷技術(shù)，高可靠性，長(zhǎng)壽命

亞納米級(jí)位移分辨率，微秒級(jí)響應(yīng)時(shí)間

輸出力**可達(dá)50000N

無(wú)機(jī)械空回，無(wú)靜摩擦和滑動(dòng)摩擦

不受磁場(chǎng)干擾，提供真空、低溫兼容產(chǎn)品

1維至2維超快可控偏擺運(yùn)動(dòng)

光學(xué)偏擺范圍**可達(dá)120mrad

超快響應(yīng)時(shí)間，超高角度定位精度

大量用于光學(xué)追蹤、掃描、穩(wěn)像等應(yīng)用

可根據(jù)用戶的不同需求進(jìn)行定制

壓電陶瓷電機(jī)/直線電機(jī)/步進(jìn)/直流伺服

PiezoWalk技術(shù)提供毫米級(jí)運(yùn)動(dòng)行程和亞納米級(jí)分辨率，大推力，可自鎖

PiezoWalk系列超小尺寸高速運(yùn)動(dòng)

可根據(jù)不同推力、行程、速度和精度要求進(jìn)行定制

單系統(tǒng)1軸到6軸，以及多軸串接

模擬和數(shù)字多種內(nèi)部結(jié)構(gòu)可選

RS232，USB，TCP/IP等多種計(jì)算機(jī)接口

先進(jìn)的低噪聲驅(qū)動(dòng)和高級(jí)控制算法

提供控制界面和二次開(kāi)發(fā)包，支持LabView， C++， VC， VB， Delphi， Matlab等

單通道及多通道系統(tǒng)

微步控制/混合控制/實(shí)時(shí)差補(bǔ)/并行控制

RS232，USB，TCP/IP，CAN等多種接口

多通道系統(tǒng)多種控制網(wǎng)絡(luò)方式可選

提供控制界面和二次開(kāi)發(fā)包，支持LabView， C++， VC， VB， Delphi， Matlab等

位置、運(yùn)動(dòng)、振動(dòng)的非接觸測(cè)量

量程從10微米到1000微米

皮米級(jí)位移分辨率，10KHz的帶寬

耐高溫，長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性（<0.1nm/3h）

無(wú)磁及真空環(huán)境兼容