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業(yè)內(nèi)**的半導(dǎo)體/FPD檢查顯微鏡，沒(méi)有之一。

LEICA INM100自動(dòng)芯片分析顯微鏡配備其配套的控制器、攝像頭，軟件，PRIOR納米平臺(tái)集成了整個(gè)Imaging System。

　　是對(duì)深亞微米工藝芯片進(jìn)行連續(xù)性、大面積的微觀圖片信息采集的**工具。

　　使用方法：

　　① 將試樣芯片置于直線(xiàn)刻度自動(dòng)納米平臺(tái)上，試樣芯片與電動(dòng)平臺(tái)之間的位置關(guān)系是相對(duì)固定的

　?、?設(shè)定顯微鏡的放大倍數(shù)，一邊通過(guò)目鏡觀察，一邊調(diào)節(jié)電動(dòng)臺(tái)控制器的操縱桿和轉(zhuǎn)鈕，使顯微鏡的物鏡對(duì)準(zhǔn)試樣的某一微觀區(qū)域（一般是試樣的*邊緣）

　?、?試樣芯片通過(guò)顯微鏡所成的像由CCD采集

　?、?CCD控制器將CCD所采集到的圖片信息進(jìn)行數(shù)/模之間的轉(zhuǎn)換

　?、?CCD控制器處理過(guò)的信號(hào)在計(jì)算機(jī)的顯示器上顯示出來(lái)，在圖像達(dá)到滿(mǎn)意的效果之后，操縱拍攝控制軟件，便將該圖像保存在計(jì)算機(jī)中

　　⑥ **張圖像保存后，由于電動(dòng)臺(tái)控制器具有設(shè)定的程序，控制器會(huì)控制電動(dòng)平臺(tái)自動(dòng)移動(dòng)至下一相鄰的微觀區(qū)域（逐行或逐列，兩微觀區(qū)域共一邊界），從而使計(jì)算機(jī)的顯示器上呈現(xiàn)第二個(gè)微觀區(qū)域的圖像信息。由于處理過(guò)的芯片的表面并不平坦，且放大倍數(shù)較高，可能造成顯示器上圖像并不清晰，此時(shí)可以通過(guò)調(diào)節(jié)電動(dòng)臺(tái)控制器來(lái)調(diào)節(jié)顯微鏡的焦距，直至獲取該微觀區(qū)域清晰的圖像。拍攝第三個(gè)微觀區(qū)域…第四個(gè)…整個(gè)芯片拍攝完畢。

**版本的自動(dòng)芯片拍照軟件可以同時(shí)處理上萬(wàn)張照片的拍攝，自動(dòng)拼接合成功能，并可以將上萬(wàn)張照片的合成照片顯示在計(jì)算機(jī)屏幕上，解決了海量照片無(wú)法顯示的難題。為全面深入地分析芯片提供了**的工具。