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日立超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000
日立超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000

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日立高新超高分辨率場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU9000是專門為電子束敏感樣品和需300萬倍穩(wěn)定觀察的先進半導體器件,高分辨成像所設(shè)計。

新的電子槍和電子光學設(shè)計提高了低加速電壓性能。

0.4nm / 30kV(SE)

1.2nm / 1kV(SE)

0.34nm / 30kV(STEM)

用改良的高真空性能和****的電子束穩(wěn)定性來實現(xiàn)高效率截面觀察。

采用全新設(shè)計的Super E x B能量過濾技術(shù),高效,靈活地收集SE / BSE/ STEM信號。

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