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Carbon Coater鍍碳儀108C Auto
Carbon Coater鍍碳儀108C Auto

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美國

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廣州競贏科學儀器有限公司

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108C Auto鍍碳儀是一個緊湊的,易于使用的鍍碳儀,主要用來給不導電的樣品鍍一層碳膜,用于掃描電鏡能譜分析的*成熟的鍍碳儀之一。

主要特性

l獨特的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚大約20nm左右進行多次蒸發(fā),無須切削或調(diào)整碳棒形狀。

l108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。該鍍膜系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊,容易操作,抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。

l使用新型的蒸發(fā)裝置:電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控,蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低,碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過脈沖或連續(xù)的方式操作。

l可選擇手動或自動方式操作。

l自動模式下,蒸發(fā)源按程序設(shè)定的電壓和時間進行噴鍍。手動模式下,獨特的設(shè)計允許以脈沖或連續(xù)的方式操作,并通過旋鈕控制輸出電壓。

l可配備MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀(選件)。分辨率優(yōu)于0.1nm。在15nm25nm的碳膜厚度范圍內(nèi),重現(xiàn)性可優(yōu)于5%。

技術(shù)參數(shù)

樣品室大小

直徑120 x 120mm (4.75 x 4.75")

蒸發(fā)源

Bradley (6.15mm rods),高強度不銹鋼結(jié)構(gòu)

蒸發(fā)控制

基于微處理器的反饋回路控制,能夠進行遠程電流/電壓感應(yīng),基于真空水平變量的安全互鎖功能,zui大電流180A,提供過流保護

樣品臺

可裝置12個樣品座,高度在30mm范圍內(nèi)可調(diào)

模擬計量

真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A

厚度監(jiān)控

MTM-10 高分辨膜厚監(jiān)控儀(選件)

控制方法

自動蒸發(fā)控制,使用程序設(shè)定的電壓和時間

以脈沖或連續(xù)方式進行完全手動控制

數(shù)字定時器(010s

數(shù)字電壓設(shè)置(0.1 to 6.0V

真空系統(tǒng)

真空泵

2級直連式高速真空泵

抽氣速率

3.0 m3/小時,真空度到 0.1mb所需時間30.

極限真空

5 x 10-3mba

桌上系統(tǒng)

真空泵可置于抗震臺上,全金屬集成耦合系統(tǒng)

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10分

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10分

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10分

性價比

10分
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