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108C Auto鍍碳儀是一個(gè)緊湊的，易于使用的鍍碳儀，主要用來給不導(dǎo)電的樣品鍍一層碳膜，用于掃描電鏡能譜分析的*成熟的鍍碳儀之一。
主要特性
l獨(dú)特的受反饋控制的碳棒蒸發(fā)系統(tǒng)可以在膜厚大約20nm左右進(jìn)行多次蒸發(fā)，無須切削或調(diào)整碳棒形狀。
l108C Auto中使用的高純碳棒可以在高倍條件下得到高質(zhì)量的鍍膜效果。該鍍膜系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊，容易操作，抽真空周期短。選件MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀可以精確地得到所需的碳膜厚度。
l使用新型的蒸發(fā)裝置：電流和電壓通過磁控頭的傳感線監(jiān)控，蒸發(fā)源作為反饋回路中的一部分被控制。該蒸發(fā)裝置使常規(guī)的碳棒具有優(yōu)良的穩(wěn)定性和重現(xiàn)性。功率消耗低，碳棒具有優(yōu)異的重新蒸鍍特性。蒸發(fā)源可以通過脈沖或連續(xù)的方式操作。
l可選擇手動(dòng)或自動(dòng)方式操作。
l自動(dòng)模式下，蒸發(fā)源按程序設(shè)定的電壓和時(shí)間進(jìn)行噴鍍。手動(dòng)模式下，獨(dú)特的設(shè)計(jì)允許以脈沖或連續(xù)的方式操作，并通過旋鈕控制輸出電壓。
l可配備MTM-10高分辨膜厚監(jiān)控儀（選件）。分辨率優(yōu)于0.1nm。在15nm至25nm的碳膜厚度范圍內(nèi)，重現(xiàn)性可優(yōu)于5％。
技術(shù)參數(shù) | |
樣品室大小 | 直徑120 x 120mm 高 (4.75 x 4.75") |
蒸發(fā)源 | Bradley型 (6.15mm rods)，高強(qiáng)度不銹鋼結(jié)構(gòu) |
蒸發(fā)控制 | 基于微處理器的反饋回路控制，能夠進(jìn)行遠(yuǎn)程電流/電壓感應(yīng)，基于真空水平變量的安全互鎖功能，zui大電流180A，提供過流保護(hù) |
樣品臺(tái) | 可裝置12個(gè)樣品座，高度在30mm范圍內(nèi)可調(diào) |
模擬計(jì)量 | 真空: atmos - 0.001mb; 電流: 0-200A |
厚度監(jiān)控 | MTM-10 高分辨膜厚監(jiān)控儀(選件) |
控制方法 | 自動(dòng)蒸發(fā)控制，使用程序設(shè)定的電壓和時(shí)間 以脈沖或連續(xù)方式進(jìn)行完全手動(dòng)控制 數(shù)字定時(shí)器（0－10s） 數(shù)字電壓設(shè)置（0.1 to 6.0V） |
真空系統(tǒng) | |
真空泵 | 2級(jí)直連式高速真空泵 |
抽氣速率 | 3.0 m3/小時(shí)，真空度到 0.1mb所需時(shí)間30秒. |
極限真空 | 5 x 10-3mba |
桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺(tái)上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
暫無數(shù)據(jù)！
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