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EMS 150T Plus高真空離子濺射儀
EMS 150T Plus高真空離子濺射儀

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美國

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廣州競贏科學(xué)儀器有限公司

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EMS 150T Plus為緊湊的分子渦輪泵鍍膜系統(tǒng),適合SEM、TEM及許多薄膜應(yīng)用。

EMS 150T Plus 集成了濺射和碳蒸鍍兩種沉積鍍膜功能的高分辨鍍膜系統(tǒng)

新款改進

● 觸摸屏更換成便于操作的電容觸摸屏

● 固件更新,新版操作界面類似安卓系統(tǒng),便于客戶上手

● 新的彩色LED可視狀態(tài)指示燈

● 雙核ARM處理器,可快速響應(yīng)

● USB接口可以用于固件更新,并可將鍍膜方案文件備份/復(fù)制到USB存儲設(shè)備

● 可以通過USB端口以.csv格式導(dǎo)出過程日志文件,以便統(tǒng)計分析

主要特點:

金屬濺射或碳蒸發(fā)一體化設(shè)計,節(jié)省空間

適合FE-SEM制樣的精細(xì)鍍膜和薄膜應(yīng)用

渦輪分子泵高真空系統(tǒng),適合不氧化貴金屬和易氧化其它金屬靶材

全自動觸摸屏控制,快速數(shù)據(jù)輸入,操作簡單

可儲存多個客戶自定義鍍膜方案:對多用戶實驗室十分理想

預(yù)編程自動真空控制

使用膜厚監(jiān)控選件精確控制膜厚

智能系統(tǒng)識別,自動感知用戶所插入鍍膜頭的類型

高真空碳蒸鍍,對SEMTEM鍍碳膜應(yīng)用非常理想

先進的碳棒蒸鍍槍設(shè)計和電流控制技術(shù),操作簡單,重現(xiàn)性好

Drop-in式快速換樣品臺(標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺)

真空閉鎖功能,讓工作腔室在待機使用時亦處于真空狀態(tài)

不破壞真空條件下的濺射時間可長達60分鐘,適合材料科研應(yīng)用

人體工程學(xué)設(shè)計,整體成型機殼,維護、拆裝容易

技術(shù)參數(shù):

工作腔室:165mm外徑 x 127mm

觸摸屏全圖像用戶界面

靶材:標(biāo)配直徑57mm x 0.3mm Cr

樣品臺:標(biāo)配旋轉(zhuǎn)臺,直徑60mm,轉(zhuǎn)速8-20 rpm ,可選配旋轉(zhuǎn)傾斜臺。

真空系統(tǒng):

渦輪分子泵:帶有空氣冷卻的渦輪分子泵

旋轉(zhuǎn)機械泵:雙程旋轉(zhuǎn)機械泵

極限真空度:5 x 10-5mbar

濺射真空度: 5 x 10-3 5 x 10-1mbar之間

濺射電流:0-150mA;可預(yù)設(shè)膜厚或使用內(nèi)置定時器(選配)

濺射時間:*長60分鐘

碳蒸發(fā):穩(wěn)定的無紋波直流電源控制的脈沖蒸發(fā),確保碳棒可重復(fù)蒸碳,電流脈沖1~90A

尺寸和重量:儀器機箱585mmx 470mm x 410mm (總高: 650mm)

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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

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