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德國Diener等離子清洗機(jī)
德國Diener等離子清洗機(jī)

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德國

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深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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德國Diener等離子清洗機(jī)Zepto,Atto,F(xiàn)emto,Pico,Nano,PlasmaBeam

德國Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備的公司, 是世界上材料處理低溫等離子體設(shè)備的市場和技術(shù)**者。Diener采用先進(jìn)的集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz 、80KHz、13.56MHz,以及代表等離子應(yīng)用***技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。

目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于:等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。其設(shè)備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的**質(zhì)產(chǎn)品,以保證性能技術(shù)穩(wěn)定。

德國diener等離子表面處理設(shè)備特點:

等離子清洗機(jī)清洗效果好,效率高,應(yīng)用范圍廣。

對清洗樣品,沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求

等離子清洗過程中,溫升很小,基本可達(dá)到常溫處理。

射頻功率無極連續(xù)可調(diào)。

高效的特制電極,是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。

特制電極和托盤結(jié)構(gòu),可充分利用真空艙體內(nèi)部空間,使處理效率**化,同時也可保證樣品可得到全面有效的清洗。

特有的過載、短路和過熱保護(hù)電路,可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。

設(shè)備整體模塊化設(shè)計,安裝與維護(hù)極為簡單。

德國diener等離子表面處理設(shè)備多種系列:

Diener等離子表面處理設(shè)備 PICO PCCE 全自動

主要技術(shù)參數(shù):

  • *全自動PCCE控制系統(tǒng),可存儲50套程序。

  • *根據(jù)工藝要求不同,可設(shè)定真空泵啟動與停止、發(fā)生器的功率、反應(yīng)腔體壓強(qiáng)、氣體流量與時間等參數(shù)

  • 雙路工作氣體,MFC質(zhì)量流量計

  • *反應(yīng)艙為方形鋁制腔體w: 150 mm, h: 160 mm, d: 325 mm帶有鉸鏈門,門帶有觀察窗。

  • *發(fā)生器100 kHz, 0 – 500 W連續(xù)可調(diào),反射波自動調(diào)節(jié)。

  • 電極材質(zhì)為鋁制。

  • 真空泵抽氣能力8m3/h

  • *配有壓力傳感器,實時顯示壓力值

  • 電源電壓:單相AC230V 16A

配置清單:

數(shù)量

備注

主機(jī)

一臺

Diener PICO

真空泵(國內(nèi)采購)

一臺

VRD-8油泵

電源線

一根

2mm

操作說明書

一本

操作面板

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