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德國Diener等離子清洗機(jī)Zepto，Atto，F(xiàn)emto，Pico，Nano，PlasmaBeam

德國Diener是專門生產(chǎn)經(jīng)濟(jì)、可靠的等離子清洗和等離子刻蝕設(shè)備的公司， 是世界上材料處理低溫等離子體設(shè)備的市場和技術(shù)**者。Diener采用先進(jìn)的集成化技術(shù)開發(fā)生產(chǎn)射頻頻率為40KHz 、80KHz、13.56MHz，以及代表等離子應(yīng)用***技術(shù)的2.45GHz的等離子清洗機(jī)。

目前設(shè)備廣泛應(yīng)用于：等離子清洗、刻蝕、灰化、涂鍍和表面處理。產(chǎn)品主要分布在真空電子、LED、太陽能光伏、集成電路、生命科學(xué)、半導(dǎo)體科研、半導(dǎo)體封裝、芯片制造、MEMS器件等領(lǐng)域。其設(shè)備生產(chǎn)零件均選用其零件行業(yè)的**質(zhì)產(chǎn)品，以保證性能技術(shù)穩(wěn)定。

德國diener等離子表面處理設(shè)備特點(diǎn)：

等離子清洗機(jī)清洗效果好，效率高，應(yīng)用范圍廣。

對清洗樣品，沒有任何材質(zhì)、外觀尺寸等要求

等離子清洗過程中，溫升很小，基本可達(dá)到常溫處理。

射頻功率無極連續(xù)可調(diào)。

高效的特制電極，是產(chǎn)生均勻等離子體的保證。

特制電極和托盤結(jié)構(gòu)，可充分利用真空艙體內(nèi)部空間，使處理效率**化，同時(shí)也可保證樣品可得到全面有效的清洗。

特有的過載、短路和過熱保護(hù)電路，可保證射頻電源的穩(wěn)定和安全。

設(shè)備整體模塊化設(shè)計(jì)，安裝與維護(hù)極為簡單。

德國diener等離子表面處理設(shè)備多種系列：

Diener等離子表面處理設(shè)備 PICO PCCE 全自動

主要技術(shù)參數(shù)：

• *全自動PCCE控制系統(tǒng)，可存儲50套程序。

• *根據(jù)工藝要求不同，可設(shè)定真空泵啟動與停止、發(fā)生器的功率、反應(yīng)腔體壓強(qiáng)、氣體流量與時(shí)間等參數(shù)

• 雙路工作氣體，MFC質(zhì)量流量計(jì)

• *反應(yīng)艙為方形鋁制腔體w: 150 mm， h: 160 mm， d: 325 mm帶有鉸鏈門，門帶有觀察窗。

• *發(fā)生器100 kHz， 0 – 500 W連續(xù)可調(diào)，反射波自動調(diào)節(jié)。

• 電極材質(zhì)為鋁制。

• 真空泵抽氣能力8m3/h

• *配有壓力傳感器，實(shí)時(shí)顯示壓力值

• 電源電壓：單相AC230V 16A

配置清單：

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