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URE-2000S/25S型雙面光刻機
URE-2000S/25S型雙面光刻機

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型號

品牌

產(chǎn)地

四川

樣本

暫無
深圳市藍星宇電子科技有限公司

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URE-2000S/25S 型雙面光刻機

技術(shù)參數(shù)

。曝光面積:4 英寸(或 6 英寸)

。曝光波長:365nm: 40mW/cm,405nm:20-40mW/cm2

。分辨力:1 μm

。正面對準采用雙目雙視場對準顯微鏡:既可通過目鏡目視對準,也可通過 CCD+顯示器對準,光學(xué)合像,光學(xué)**倍數(shù) 400 倍,光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

。底面面對準:采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計算機合像,物鏡軸距范圍 10mm-148mm

。對準精度:±2.5μm(雙面,片厚 0.8mm),± 0.6μm(單面)

。掩模尺寸: 3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(6 英寸配置)

。樣片尺寸:2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸(6 英寸配置) ,厚度 0.1mm--2mm

。曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量

。照明不均勻性: 3%( Ф100mm 范圍),5%( Ф150 mm 范圍)

。掩模相對于樣片運動行程:X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度

。汞燈功率:350W(直流,進口)

。**膠厚:350 μm (SU8 膠,用戶提供檢測條件)

。光源平行性:3.5°

外形尺寸:1300mm(長)x1000mm(寬) x1800mm(高)

配置

(1)曝光頭(兩套)

冷光橢球鏡

。350 W 進口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準直鏡鏡 1、準直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

(2)對準工件臺

。掩模樣片相對運動臺

。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機構(gòu),自動完成

。樣片調(diào)焦機構(gòu),氣缸自動調(diào)

。承片臺:2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸(6 英寸配置)

。掩模夾:3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸(6 英寸配置)

(3)雙目雙視場對準顯微鏡(可以選擇帶 CCD 型,目鏡和監(jiān)視器可同時觀測)

。光源、電源

。雙目雙視場對準顯微鏡主體

。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)

。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)

。CCD 光學(xué)系統(tǒng)(選配件)26

。XYZ 底面對準工件臺

(4)底面 CCD 對準系統(tǒng)

。光源、電源

。成像光學(xué)系統(tǒng)

。數(shù)據(jù)采集卡

。CCD

(5)電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機控制系統(tǒng)

??刂乒褡?/span>

。計算機系統(tǒng)(21 英寸寬屏液晶顯示器)

(6)氣動系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

(7)其他附件

。真空泵一臺(無油泵)

。空壓機一臺 (音靜泵)

。管道

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產(chǎn)品質(zhì)量

10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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