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URE-2000/30型紫外單面光刻機(jī)
URE-2000/30型紫外單面光刻機(jī)

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產(chǎn)地

四川

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暫無
深圳市藍(lán)星宇電子科技有限公司

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URE-2000/30 型紫外單面光刻機(jī)

1.技術(shù)特征

。高倍率雙目雙視場顯微鏡和 22 英寸寬屏液晶顯示同時觀察對準(zhǔn)過程,并提供 USB 輸出;既滿足高精度對準(zhǔn),又可用于檢測曝光結(jié)果,且曝光結(jié)果和方便存儲

。采用倒置式照明,更換汞燈更方便,散熱和防漏光效果更好

。對準(zhǔn)位和曝光位雙工位工作,雙工位自動切換

。采用嵌入式計算機(jī)+觸摸屏操作,操作更方便,更時尚

。上下片、版十分方便,自動化程度高,操作簡便。對高校教學(xué)科研(可靠性好,演示方便)及工廠(效率高)尤為適宜

2.技術(shù)參數(shù)

。曝光面積:100mm×100mm(可升級為 6 英寸)

。曝光波長:365nm

。分辨力:≤1 μm(膠厚 1.5 μm 的正膠)

。對準(zhǔn)精度:±0.6 μm

。顯微鏡掃描臺運(yùn)動范圍:X:10mm;Y:10mm

。掩模尺寸:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸

。樣片尺寸:直徑Ф 15mm-- Ф 100mm(各種不規(guī)則片)厚度 0.1mm--6mm

。曝光方式:定時(倒計時方式)和定劑量

。具備真空接觸曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能30

。照明不均勻性: 3%(Ф 100mm 范圍)

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡:既可通過目鏡目視對準(zhǔn),也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像,光學(xué)**倍數(shù) 400 倍,光學(xué)+電子放大 800 倍

物鏡三對:4 倍、10 倍、20 倍

目鏡三對:10 倍、16 倍、20 倍

。曝光對準(zhǔn)雙工位自動切換

。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)

。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和間隙

。具備壓印模塊接口,也具備接近模塊接口

。掩模相對于樣片運(yùn)動行程:

X: ± 5mm; Y: ± 5mm; Thelta: ± 6o

。**焦厚:400 μm(SU8 膠,用戶提供檢測條件)

。光源平行性:3 o

。曝光能量密度:>25mW/cm2,照明面溫度<35 oC

。單層曝光一鍵完成

。采用球氣浮+三爪找平

。汞燈功率:350W(直流,進(jìn)口)

3.外形尺寸:1400mm(長)x900mm(寬) x1500mm(高)

4.配置

(1)曝光頭

。冷光橢球鏡

。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)

。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺

。冷卻風(fēng)扇

。光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組(79 個透鏡)、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2

(2)對準(zhǔn)工件臺

。光刻機(jī)底座

。工位切換臺(氣缸)

。掩模樣片整體運(yùn)動臺

。掩模樣片相對運(yùn)動臺

。轉(zhuǎn)動臺

。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),三點(diǎn)自動完成31

。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),電機(jī)自動調(diào)

?;槔缴舷聶C(jī)構(gòu)

。承片臺 4 個:Ф 15mm 、Ф 40mm、Ф 60mm、Ф 100mm(可按用戶要求增減)

。掩模夾 4 個:2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸(可按用戶要求增減)

。樣片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

(3)對準(zhǔn)顯微鏡

。光源、 電源

。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體

。目鏡 3 對(10 倍、16 倍、20 倍,共 6 個)

。物鏡 3 對(4 倍、10 倍、20 倍,共 6 個)

。CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng),22 寸液晶顯示器

(4)電控系統(tǒng)

。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)

。單片機(jī)控制系統(tǒng)

。控制面板

??刂乒褡?/span>

(5)氣動系統(tǒng)

。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等

。電磁閥驅(qū)動

。氣動儀表

(6)其他附件

。真空泵一臺

??諌簷C(jī)一臺

。配套接口管道

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10分

售后服務(wù)

10分

易用性

10分

性價比

10分
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