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一、概述

SE-m 是一款針對(duì)半導(dǎo)體行業(yè)定制的微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量的專用型光譜橢偏儀，其采用行業(yè)**橢偏創(chuàng)新技術(shù)，自主獨(dú)立研發(fā)出行業(yè)** 1 超小微光斑探測測量技術(shù)，2 定制超快測量速度，等**技術(shù)。可應(yīng)用透明各類襯底上的減反膜、導(dǎo)電膜等薄膜的n/k/d測量，**適用于微區(qū)圖形的各種光學(xué)參數(shù)解析。

二、特色功能

■ 可定制光斑尺寸，*小可達(dá)30um；

■ 超快測量，單次測量時(shí)間小于0.5秒 ；

■ 系列配置靈活，支持功能定制設(shè)計(jì)；

■ 結(jié)構(gòu)緊湊，更適應(yīng)在線集成測量.

三、測量實(shí)例

微區(qū)圖形結(jié)構(gòu)測量

四、應(yīng)用場景

應(yīng)用于光學(xué)常數(shù)測量，**適用于各類光學(xué)薄膜等鍍膜檢測應(yīng)用。