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PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學(xué)測(cè)量系統(tǒng)采用全新的O圈輔助密封設(shè)計(jì)，攻克了以往原位液體解決方案裝樣困難的問(wèn)題。實(shí)驗(yàn)中，樣品被密封在很薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi)，池內(nèi)可以承載一個(gè)大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路，從而在掃描電鏡中搭建一個(gè)液體-電化學(xué)測(cè)試環(huán)境。
性能指標(biāo)：
●兼容指定型號(hào)SEM；
● 保證SEM真空度；
● 液體池間隔層厚度100 nm；
● 液體池內(nèi)可載入氣體或液體，池內(nèi)可承載1個(gè)大氣壓，池外滿足電鏡真空要求；
● 電壓輸出±200 V，分辨率±100 nV；
● 電流測(cè)量±1.5 A，分辨率±100 fA；
● 恒壓或者恒流模式；
● 自動(dòng)電流-電壓（I-V）測(cè)量、電流-時(shí)間（I-t）測(cè)量，自動(dòng)保存。
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