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線(xiàn)性壓電納米位移臺(tái)MF30-40A，大行程直線(xiàn)位移臺(tái)，不僅擁有緊湊的安裝尺寸，同時(shí)還兼具低溫真空等應(yīng)用環(huán)境，支持定制納米位移臺(tái)。
結(jié)構(gòu)緊湊，高剛性
室溫到液氦工作溫度，真空兼容
壓電陶瓷促進(jìn)器具有超長(zhǎng)使用壽命
帶位移傳感器，提供位置和速度閉環(huán)控制
產(chǎn)品應(yīng)用
電子顯微鏡原位納米探針臺(tái)，半導(dǎo)體芯片檢測(cè)，光刻機(jī)工件臺(tái)，微生物操縱手，光纖焊接
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