中國(guó)粉體網(wǎng)訊  日前，經(jīng)過一年緊張施工，位于哈爾濱新區(qū)江北一體發(fā)展區(qū)的科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項(xiàng)目一期正式投用。

據(jù)悉，科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)項(xiàng)目由哈爾濱科友半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)裝備與技術(shù)研究院有限公司(簡(jiǎn)稱科友半導(dǎo)體)與哈爾濱新區(qū)共同投資10億元建設(shè)，將打造包括技術(shù)開發(fā)、裝備設(shè)計(jì)等在內(nèi)的全產(chǎn)業(yè)鏈的科技成果轉(zhuǎn)化及產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用研究集聚區(qū)，并以哈爾濱為總部，打造國(guó)家級(jí)第三代半導(dǎo)體裝備與材料創(chuàng)新中心，成為我省第三代半導(dǎo)體材料研發(fā)及裝備制造的新高地。從2021年7月正式開工以來搶抓工期，短短一年多時(shí)間，就完成了項(xiàng)目一期2萬平方米廠區(qū)的建設(shè)。

科友半導(dǎo)體成立于2018年，是一家專注于第三代半導(dǎo)體裝備研發(fā)、襯底制造、器件設(shè)計(jì)、技術(shù)轉(zhuǎn)移和科研成果轉(zhuǎn)化的國(guó)家級(jí)高新技術(shù)企業(yè)，具備解決我國(guó)在高端裝備和襯底材料制造上“卡脖子”問題的超強(qiáng)實(shí)力。作為數(shù)字經(jīng)濟(jì)發(fā)展底盤支撐，科友半導(dǎo)體大尺寸碳化硅襯底材料廣泛應(yīng)用在5G通訊、新能源汽車、芯片制造、照明光源等領(lǐng)域。

科友半導(dǎo)體成立以來，公司創(chuàng)始人趙麗麗一直致力于半導(dǎo)體晶體材料特別是第三代半導(dǎo)體材料的裝備設(shè)計(jì)開發(fā)、關(guān)鍵工藝技術(shù)研發(fā)及科研成果產(chǎn)業(yè)化工作。在趙麗麗帶領(lǐng)下，科友科研團(tuán)隊(duì)攻堅(jiān)克難，取得了可喜成果。

目前，科友半導(dǎo)體研制的碳化硅感應(yīng)長(zhǎng)晶爐已實(shí)現(xiàn)99%的部件國(guó)產(chǎn)化替代，電阻式長(zhǎng)晶爐也具備投產(chǎn)條件。在碳化硅晶體生長(zhǎng)方面，科友半導(dǎo)體在6英寸碳化硅單晶厚度上突破32毫米，達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先。同時(shí)，在長(zhǎng)晶周期、生產(chǎn)成本、晶體良率等方面已經(jīng)達(dá)到并保持國(guó)際同行業(yè)先進(jìn)水平。

科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)的建成投用，將使科友半導(dǎo)體以更高的長(zhǎng)晶良率、更快的長(zhǎng)晶速度、更低的長(zhǎng)晶成本，弄潮第三代半導(dǎo)體行業(yè)大潮，致力成為全球第三代半導(dǎo)體關(guān)鍵材料供應(yīng)商之一。

“目前生產(chǎn)車間里已經(jīng)安裝完100臺(tái)長(zhǎng)晶爐，后續(xù)還要安裝100臺(tái)。預(yù)計(jì)年底全部達(dá)產(chǎn)后可形成年產(chǎn)10萬片6英寸碳化硅襯底的生產(chǎn)能力。”科友半導(dǎo)體副總經(jīng)理段樹國(guó)告訴記者，科友第三代半導(dǎo)體產(chǎn)學(xué)研聚集區(qū)將繼續(xù)深耕第三代半導(dǎo)體材料和裝備領(lǐng)域，努力實(shí)現(xiàn)碳化硅材料從提純—裝備制造—晶體生長(zhǎng)—襯底加工—外延晶圓的全產(chǎn)業(yè)鏈閉合，成為行業(yè)內(nèi)頂尖的材料端全閉合企業(yè)。按照企業(yè)發(fā)展規(guī)劃，未來兩年科友半導(dǎo)體將實(shí)現(xiàn)年產(chǎn)20萬~30萬片碳化硅襯底的產(chǎn)能，成為全球碳化硅襯底重要供應(yīng)商之一。

（中國(guó)粉體網(wǎng)編輯整理/山川）

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