推薦我國多晶硅生產(chǎn)集成工藝技術(shù)又獲新突破

科技部和中國電子材料行業(yè)協(xié)會在洛陽中硅高科組織召開驗收評審會。中硅高科承擔的國家“十一五”科技支撐計劃課題大型三氯氫硅合成、提純工藝技術(shù)與關(guān)鍵裝置研究、高效加壓還原爐系統(tǒng)研究、大型低溫加壓四氯化硅氫化技術(shù)與裝置研究三個課題和[更多]