推薦三星電子：正在研發(fā)碳化硼聚焦環(huán)以替代碳化硅？BUT“聚焦環(huán)”是啥……

中國粉體網(wǎng)訊 隨著半導體技術(shù)的發(fā)展，等離子體刻蝕逐漸成為半導體制造工藝廣泛應用的技術(shù)。等離子體刻蝕產(chǎn)生的等離子體具有很強的腐蝕性，在刻蝕晶圓的過程中也會對工藝腔腔體和腔體內(nèi)部件造成嚴重腐蝕，所以半導體加工設備中與等離子體接觸[更多]