推薦微電子所在氮化鎵界面態(tài)研究方面取得進展

中國粉體網(wǎng)訊 近日，中國科學院微電子研究所高頻高壓中心研究員劉新宇團隊等在GaN界面態(tài)研究領域取得進展，在LPCVD-SiNx/GaN界面獲得原子級平整界面和國際先進水平的界面態(tài)特性，提出了適用于較寬能量范圍的界面態(tài)U型分布[更多]