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YD24 系列(壓力控制器/流量計)是一款應用于半導體等高端工藝制程的壓力測控產品，
基于壓力式傳感器技術，控壓精度可達到±0.05%F.S.，
產品制造各項技術指標均嚴格按照SEMI標準執(zhí)行，
可在任何工藝點對任何氣體(包括選定的腐蝕性氣體)進行遠程傳感壓力控制，
被廣泛應用于半導體制造領域的沉積、刻蝕、熱處理、離子注入等設備中。
下游控壓，適用 1000torr 以下壓力控制范圍，精度可達±0.05%F.S.
快速響應<100ms，金屬密封，電拋光表面光潔度適用于高純度工藝應用
可定制多種通訊模式、機械接頭
適用于半導體等多種高端工藝制程
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