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P21H-系列質(zhì)量流量控制器品牌
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P21H-系列(質(zhì)量流量控制器/質(zhì)量流量計(jì))是專(zhuān)為需要高純度全金屬流道的半導(dǎo)體制程和其他高精尖氣體流量控制應(yīng)用而設(shè)計(jì)的，開(kāi)放式流道設(shè)計(jì)以及基于內(nèi)部精確容積的在線自校準(zhǔn)能力，為氣體質(zhì)量流量的控制、測(cè)量提供了極高的準(zhǔn)確度及可靠性。 超高精度，可達(dá)±0.05% F.S. 超快速響應(yīng)<200ms 重復(fù)性對(duì)標(biāo)行業(yè)**產(chǎn)品，可達(dá) 0.02%F.S. 接液材料采用316L VimVar+KM45+PCTFE，耐腐蝕性好可定制多種工作壓力、通訊模式、屏幕顯示、機(jī)械接口，適用于高精尖端工藝制程
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