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YHJ2M77120 高精度立式雙面磨床
YHJ2M77120 高精度立式雙面磨床

參考價格

面議

型號

YHJ2M77120 高精度立式雙面磨床

品牌

宇環(huán)數(shù)控

產地

湖南

樣本

暫無
宇環(huán)數(shù)控機床股份有限公司

高級會員

|

第1年

|

生產商

工商已核實

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核心參數(shù)
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  • 單位能耗:

    -
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設備亮點

1、本下盤軸向采用靜壓轉臺軸承結構,具有高精度、高剛性特點,對于大壓力加載磨削加工,具有良好的精度保持性。

2、下盤內外齒圈采用伺服電機獨立驅動,工藝調節(jié)范圍廣,可根據(jù)不同材質產品靈活調整工藝參數(shù)。

3、上盤采用浮動油缸機構調節(jié)平衡,四組浮動油缸對稱均勻布置,在保持加工精度的前提上提升加工效率。

4、上、下盤均有獨立冷卻水道冷卻磨削盤,在上、下盤配置多點溫度傳感器(帶無線傳感),通過溫度實時監(jiān)測,控制調節(jié)制冷量,保證磨削盤溫度均勻且恒定。

5、配置在線檢測系統(tǒng)(選配),實現(xiàn)同時加工及檢測,加工合格率高。

技術參數(shù)

項目

參數(shù)

單個晶圓襯底厚薄差TTV(μm)

≤1.5

晶圓襯底與襯底之間厚薄差(μm)

≤3

晶圓襯底*小厚度(μm)

350

晶圓襯底平面度(μm)

≤1.5

晶圓襯底化學拋光后粗糙度(納米)

≤Ra8 

上下盤平面度(mm)

≤0.005

上盤**加載壓力(t)

1.5

上盤**行程(mm)

350

上拋光盤尺寸(mm)

Φ1120*Φ385*50

下盤跳動(mm)

≤0.01

下拋光盤尺寸(mm)

Φ1120*Φ385*50

外齒圈抬升高度(mm)

24~28

 

項目

參數(shù)

下盤靜**承**承載(t)

7

上盤轉速(RPM)

5~60

下盤轉速(RPM)

5~60

上盤電機功率(KW)

18.5

下盤電機功率(KW)

18.5

太陽輪轉速(RPM)

5~100

太陽輪電機功率(KW)

4.4

外齒圈轉速(RPM)

1~10

外齒圈電機功率(KW)

4.4

游星輪數(shù)量(個)

5

晶圓加工規(guī)格(英寸)

≤8”(打樣用)6”(常用)

設備重量(t)

9


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