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面議型號
YHJ2M77120 高精度立式雙面磨床品牌
宇環(huán)數(shù)控產地
湖南樣本
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其他單位能耗:
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-裝機功率(kw):
-成品細度:
-入料粒度(mm):
-工作原理:
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設備亮點
1、本下盤軸向采用靜壓轉臺軸承結構,具有高精度、高剛性特點,對于大壓力加載磨削加工,具有良好的精度保持性。
2、下盤內外齒圈采用伺服電機獨立驅動,工藝調節(jié)范圍廣,可根據(jù)不同材質產品靈活調整工藝參數(shù)。
3、上盤采用浮動油缸機構調節(jié)平衡,四組浮動油缸對稱均勻布置,在保持加工精度的前提上提升加工效率。
4、上、下盤均有獨立冷卻水道冷卻磨削盤,在上、下盤配置多點溫度傳感器(帶無線傳感),通過溫度實時監(jiān)測,控制調節(jié)制冷量,保證磨削盤溫度均勻且恒定。
5、配置在線檢測系統(tǒng)(選配),實現(xiàn)同時加工及檢測,加工合格率高。
技術參數(shù)
項目 | 參數(shù) |
單個晶圓襯底厚薄差TTV(μm) | ≤1.5 |
晶圓襯底與襯底之間厚薄差(μm) | ≤3 |
晶圓襯底*小厚度(μm) | 350 |
晶圓襯底平面度(μm) | ≤1.5 |
晶圓襯底化學拋光后粗糙度(納米) | ≤Ra8 |
上下盤平面度(mm) | ≤0.005 |
上盤**加載壓力(t) | 1.5 |
上盤**行程(mm) | 350 |
上拋光盤尺寸(mm) | Φ1120*Φ385*50 |
下盤跳動(mm) | ≤0.01 |
下拋光盤尺寸(mm) | Φ1120*Φ385*50 |
外齒圈抬升高度(mm) | 24~28 |
項目 | 參數(shù) |
下盤靜**承**承載(t) | 7 |
上盤轉速(RPM) | 5~60 |
下盤轉速(RPM) | 5~60 |
上盤電機功率(KW) | 18.5 |
下盤電機功率(KW) | 18.5 |
太陽輪轉速(RPM) | 5~100 |
太陽輪電機功率(KW) | 4.4 |
外齒圈轉速(RPM) | 1~10 |
外齒圈電機功率(KW) | 4.4 |
游星輪數(shù)量(個) | 5 |
晶圓加工規(guī)格(英寸) | ≤8”(打樣用)6”(常用) |
設備重量(t) | 9 |
暫無數(shù)據(jù)!