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Saturn 3510品牌
中電科風(fēng)華產(chǎn)地
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產(chǎn)品描述：應(yīng)用于GaN外延片的自動化缺陷檢測。設(shè)備采用點共焦旋轉(zhuǎn)掃描的工作原理進行缺陷檢測，可以自動實時對焦和多通道采集數(shù)據(jù)，具有低噪聲和高分辨率成像等優(yōu)勢，采用基于深度學(xué)習(xí)的自動缺陷檢測算法，晶圓檢測與數(shù)據(jù)分析能夠并行處理，滿足4、6、8英寸晶圓的生產(chǎn)檢測與器件良率提升的需求。
產(chǎn)品參數(shù)：
應(yīng)用范圍：GaN外延片自動化缺陷檢測
可測晶片尺寸：4,6,8英寸
暫無數(shù)據(jù)！
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