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深紫外光學(xué)吸收測量儀品牌
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深紫外光學(xué)吸收測量儀(PTS-DUV-2000/PTB-DUV-2000)，是一款基于激光誘導(dǎo)光熱檢測技術(shù)，專為深紫外波段光學(xué)材料和元件吸收特性檢測分析而開發(fā)的高靈敏度精密光學(xué)測試儀器。
PTS-DUV-2000適用于各類深紫外波段光學(xué)薄膜和光學(xué)材料表面吸收特性的檢測和分析，包括表面吸收率測量、表面吸收均勻性分布測試、吸收缺陷檢測分析、激光輻照下的吸收穩(wěn)定性監(jiān)測等。
PTB-DUV-2000適用于各類深紫外波段光學(xué)元器件及材料體內(nèi)吸收特性的檢測和分析，包括材料體吸收系數(shù)測量、體內(nèi)吸收均勻性分布測試、體吸收缺陷檢測分析等。
典型的應(yīng)用對象為:光學(xué)薄膜、光學(xué)玻璃、晶體材料、光學(xué)陶瓷、半導(dǎo)體晶圓。
| 深紫外光學(xué)吸收測量儀 | ||
| 型號 | PTS-DUV-2000 | PTB-DUV-2000 |
| 檢測功能 | 表面吸收 | 表面吸收、體吸收 |
| 檢測模式 | 反射式、透射式 | 反射式、透射式 |
| **吸收檢測靈敏度 | ≤0.1ppm | |
| 檢測波長 | 266nm或其他深紫外定制波長 | |
| **掃描空間分辨率 | ≤1μm | |
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