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液相法SiC單晶爐
液相法SiC單晶爐

參考價格

面議

型號

YS-C08S01

品牌

產(chǎn)地

廣州

樣本

暫無
廣州粵升半導(dǎo)體設(shè)備有限公司.

高級會員

|

第1年

|

生產(chǎn)商

工商已核實

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核心參數(shù)
  • 非金屬電熱元件:

    其他
  • 金屬電熱元件:

    其他
  • 燒結(jié)氣氛:

    其他
  • 溫控精度:

    ≤±2℃
  • 最高溫度:

    2200
  • 額定溫度:

    800
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粵升設(shè)備融合二十余年的SiC晶體工藝經(jīng)驗打造,給您提供高質(zhì)量,低成本的SiC單晶。


設(shè)備名稱:液相法SiC單晶爐


規(guī)格參數(shù)


設(shè)備型號:YS-C08S01


設(shè)備尺寸:L1800xW1400xH3750mm


適用工藝:LPE法(兼容PVT法)


長晶尺寸:6吋兼容8吋


籽晶/坩堝升降行程:200mm


籽晶/坩堝旋轉(zhuǎn)速度范圍:0-180rpm


**加熱溫度:800~2200℃C



設(shè)備特點


·液相法SiC長晶特點


·生長的晶體質(zhì)量高,缺陷少,沒有微管類缺陷,晶體應(yīng)力低,


·可生長n型、p型SiC單晶晶錠,也可生長3C-SiC


·生長過程對溫場影響小,工藝穩(wěn)定性好


·不需預(yù)合成SiC粉原料,生長成本低


·生長溫度低,能耗低。



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易用性

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性價比

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